网站导航

首 页

企业介绍

新闻中心

在线留言

产品中心

客户案例

服务支持

联系我们

设为首页 加入收藏

首页 > 新闻中心 > 公司新闻 > 低温泵的工作原理

公司新闻

2017-03-08 低温泵的工作原理

分享到:

  低温泵又称为冷凝泵,是利用低温表面冷凝气体的真空泵。广泛应用于分子束研究、离子注入机,集成电路和半导体的生产和研究,真空表面分析仪器等方面。今天上海贝仑仪器设备有限公司就给大家介绍下低温泵的工作原理。

SHZ-D(III)循环水真空泵.jpg

  低温泵使气体凝结,并保持泵的极限压力高于凝结物的蒸汽压力,从而达到抽气作用。其主要是靠三个方面实现的,即为:低温吸附、低温捕集和低温冷凝。


  1、低温吸附。气体分子以一个单分子层厚,被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上,相同温度下的蒸气压力比吸附的平衡压力高很多,这样就可能在较高的温度下通过低温吸附来进行抽气。


  2、低温捕集。在抽气温度下不能冷凝的气体分子,可被不断增长的可冷凝气体层吸附和埋葬。


  3、低温冷凝。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。气体分子冷凝在已冷凝的气体层上或冷凝在冷板表面上,其冷凝物的蒸气压等于平衡压力。抽空气时,冷板温度必须低于 25K;抽氢时,冷板温度会更低。


  一般说来,泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。但由于低温冷板和被抽容器温度的不同,冷凝物的蒸气压低于泵的极限压力。


  以上就介绍了低温泵的工作原理,大家有了一定了解。更多关于双层玻璃反应釜方面的知识,可以关注上海贝仑仪器设备有限公司。